研制国内第一台静默式DUV，现专注浸润式DUV，承担零二专项科研任务
新凯莱子公司，主攻5NM/7NM DUV，7NM良率已超70%
国内光刻机企业，已实现亚先进制程从0到1突破
上科创投与新凯莱各持50%，外媒报道DUV测试厂商，展会无光刻机亮相
